超纯、耐腐蚀、耐高温的全氟醚橡胶产品

1. 产品建议工况： （1）进出气口/舱盖密封 （2）孔板密封 （3）适用的闸阀及阀门组件 （4）隔离阀密封 2. 典型物理特性： 颜色： 透明/半透明琥珀色 密度： 2.06 g/cm3 抗拉强度： 25 MPa 100% 模量： 5 Mpa 断裂伸长率： 223% 硬度： 69 shore A 极限温度： 250℃ 3. 压缩永久变形测试： O 型圈（直径 25mm, 横截内径 3.5mm），25%压缩比，（依 美标 568 K214）。 200℃70 小时 永久压缩：变形 23% 250℃70 小时 永久压缩：变形 41% 4. 耐溶剂性能 测试环境：30℃下浸泡 168 小时后测试 甲醇： 体积变化率<1% 甲苯： 体积变化率<2% 乙酸乙酯： 体积变化率<1% 二氯甲烷： 体积变化率<1% 乙二醇单丁醚： 体积变化率<1% 乙酸乙酯： 体积变化率<1% 5. 耐热性能 硬度 200℃1000 小时 无变化 250℃1000 小时 变化-2pts 拉伸强度 200℃1000 小时 变化-4% 250℃1000 小时 变化-20% 断裂伸长率 200℃1000 小时 变化 2% 250℃1000 小时 变化 19% 6. 耐腐蚀性能 测试环境：等离子射频功率 300W，气流量 30 标准毫升/ 分钟，室温 1.5 小时 氧气氛围下，腐蚀率≤5% 四氟化碳：氧气（体积比 2：3），腐蚀率≤4.5%

邦欣源® 超洁净 PFE-7235 是一款超纯、耐腐蚀、耐高温的全氟醚橡胶产品，主要应用于半导体制程中的密封部件。具有优异的耐化学腐蚀，耐油，耐溶剂特性。即使在等离子刻蚀工况条件下，也表现出很低的刻蚀速率和颗粒产生率。同时还表现出非常优异的耐高温性和低的压缩永久变形特性

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