辉光放电质谱分析测试

质量数范围：覆盖 m/z 3-300的范围 质量分辨率：400～10,000 连续可调 灵敏度： 1×10-10 A，铜样品，中分辨(R≥ 4000) (用Cu样品的总Cu信号，辉光池工作电压1000v，工作电流2ma) 检测器系统：一个法拉第杯检测器，一个全尺寸不连续打拿极检测器，保证两个检测器从高强度至低强度的自动切换 检出限：优于1 ppb

辉光放电质谱分析法（GD-MS）是一种分析导体和非导体材料特性的终极方法。它几乎能够定量检测从元素锂到铀范围内的所有元素，以及从基体到亚ppb之间的各种含量。主要用于高纯度材料的杂质分析，应用于半导体材料、纯金属、合金材料等，还可用于材料的剥层分析，获得材料的元素深度分布曲线和表面涂层材料的表面分析。