发布时间：2023-04-17 17:14:34

发布单位：温州大学新材料与产业技术研究院

规格型号/牌号：邦欣源® PFE 8250

关键字： 全氟醚橡胶

应用领域：有机材料;

先进程度：国内先进

技术成熟度：七级

自主可控：是

知识产权类型：

知识产权：

技术来源：自主研发;合作研发;购买技术;其他

标准建设：

技术参数：1. 典型物理特性： 颜色： 淡黄色 比重： 2.02g/cm3 抗拉强度： 163 MPa 断裂伸长率： 161% 硬度： 85 shore A 极限温度： 250℃ 2. 压缩永久变形测试： 测试环境：204℃ 70 小时（依据美标 D395-03,方法 B） 永久压缩： 变形 25% 3. 耐热老化 测试环境：250℃下 70 小时（依据美标 D573-04） 硬度： 无变化 拉伸强度： 变化-6% 断裂伸长率： 变化 17%

功能描述：邦欣源® PFE 8250 是一款应用于半导体标准蚀刻、灰化及成膜制程的耐等离子辐射、耐高温、耐腐蚀气体的全氟醚橡胶，尤其是高密度电浆/电浆 CVD 中可防止 NF3 存在下，耐等离子体诱导的颗粒析出，具有极佳的机械性能。

供货周期：35天

年最大供货量：20000个

是否面议：是

价格：10000元/个

典型应用履历：无

其他说明：无