发布时间：2023-04-17 17:14:29

发布单位：温州大学新材料与产业技术研究院

规格型号/牌号：邦欣源® 超洁净 PFE-7235

关键字： 全氟醚橡胶

应用领域：有机材料;

先进程度：国内先进

技术成熟度：七级

自主可控：是

知识产权类型：

知识产权：

技术来源：自主研发;合作研发;购买技术;其他

标准建设：

技术参数：1. 耐热性能 硬度 200℃1000 小时 无变化 250℃1000 小时 变化-2pts 拉伸强度 200℃1000 小时 变化-4% 250℃1000 小时 变化-20% 断裂伸长率 200℃1000 小时 变化 2% 250℃1000 小时 变化 19% 2. 耐腐蚀性能 测试环境：等离子射频功率 300W，气流量 30 标准毫升/分钟，室温 1.5 小时 氧气氛围下，腐蚀率≤5% 四氟化碳：氧气（体积比 2：3），腐蚀率≤4.5%

功能描述：邦欣源® 超洁净 PFE-7235 是一款超纯、耐腐蚀、耐高温的全氟醚橡胶产品，主要应用于半导体制程中的密封部件。具有优异的耐化学腐蚀，耐油，耐溶剂特性。即使在等离子刻蚀工况条件下，也表现出很低的刻蚀速率和颗粒产生率。同时还表现出非常优异的耐高温性和低的压缩永久变形特性。

供货周期：35天

年最大供货量：20000个

是否面议：是

价格：10000元/个

典型应用履历：无

其他说明：无